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擴散泵油的斷續沸騰主要是由下列因素引起的：
1.擴散泵漏水，可能是擴散泵上的兩個進氣管漏水，管道密封圈因為溫度過高（冷卻時間太長）而出現了滲漏、滲漏、熔焊（通常不會出現），通常是更換密封套，更換硅油或者擴散泵油.
2.反向擴散的氣體分子
3.擴散泵油的裂化分解，通常，擴散泵的工作油需要在飽和蒸汽壓以下（約0.00000001 Pa）以下，具有良好的耐熱性，不容易被氧化。
4.因化學反應引起的油泵內部雜質而產生的效果
受吸氣體的反向擴散是限制擴散泵實現真空的一個重要原因。氣體的反向擴散與分子質量相關，粒子的體積越小，反擴散的可能性越大。擴散泵抽氫容易發生反擴散，目前存在兩種防止氫氣反擴散的方法：一是通過兩個擴散泵串聯作用，減小擴散泵的排氣壓力；第二，在擴散泵的進氣口管線上加裝了液氮冷卻的鈦升華阱，以捕獲反擴散的氫氣。
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